內容介紹
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名稱:特氣柜(Gas Cabinet)
用途:特氣柜主要用于供應特種氣體,如易燃、易爆、劇毒等,以滿足半導體和LED等新興行業的需求。
供應商:西安西能光伏科技有限公司
特氣柜(Gas Cabinet)優勢特點介紹:
安全性:特氣柜的設計和制造過程中注重安全因素,具有完善的安全報警裝置,如氣體泄漏檢測報警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警)報警信號被觸發時,自動切斷。此外,特氣柜采用PLC控制,通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計等裝置,實現設備安全有效的運行。
高效性:特氣柜采用自動吹掃和自動切換功能,可以快速準確地供應所需氣體,確保生產過程的順利進行。
純度:特氣柜內部采用高純閥件的合理選擇和布局,以滿足半導體工藝生產過程中對氣體的純度要求。
可靠性:特氣柜采用PLC程式設計的安全聯鎖功能,確保設備的穩定性和可靠性,降低故障率。
定制化:特氣柜的箱體設計采用安全設計,所選用的材料適用于各種不同性質的氣體,可根據客戶需求進行定制。
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